平衡流量計具有差壓流量計的優(yōu)點,耐振動,對直管段要求比較低,出入現(xiàn)場我們要先了解平衡流量計的安裝要求,只有先了解平衡流量計我們才能更好的發(fā)揮它的特點。
大多數(shù)傳統(tǒng)的真空沉積工具使用壓力變送器來維持真空室中的氣體壓力,節(jié)流閥設(shè)置可能花費數(shù)千美元,它還需要一個單好的控制模塊來為閥門供電。